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高纯电子材料

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SiH4

AsH3

PH3

CO
NO

SO2

Mix Gas

C3H6

NH3

PDMAT
HF

CF4

SF6

C2F6

C4F8

CHF3

B2H6

BCL3

CL2

TMA

N2

H2

He

O2

Ar

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